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真空鍍膜中常用的真空泵類型

在塑料真空鍍膜中我們常用油封式旋轉機械真空泵做為前級泵。油封式旋轉機械真空泵是容積泵的一種。我們知道一定質量的氣

體在狀態變化過程中如果溫度保持不變,體積受到壓縮時容積變小,壓強增大,進行排氣。

相反,當體積膨脹時容積變大,壓強減小,進行抽氣。這種利用密閉容器容積周期變化而達到抽氣作用的泵叫容積真空泵。

旋轉式機械真空泵既能夠獨立工作獲得0.13pa(10-3Torr)的低真空,又能夠做為各種高真空泵的前級泵。因為它用真空泵油來

潤滑并起密封作用,所以叫做油封式旋轉機械真空泵。旋轉式機械真空泵由于運動件結構的不同,有不同的型式,常用的有旋片

式真空泵
。旋片式真空泵易于裝配、調試,適用于中、小抽速。目前容積泵除旋片式真空泵外,還有滑閥式機械泵、羅茨式真空

等。不同類型的容積真空泵抽氣性能差別很大。


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