半導體工藝涉及許多種有害和腐蝕物質，為了防止直接的或潛在的毒害，操作者必須避免有害氣體對旋片真空泵的污染。為了把旋片真空泵內的有害物質的累積減少到最低程度，建議在操作時用惰性氣體（N2）沖趕油腔面上的部位，油腔內也用Ｎ2沖趕，利用趕氣操作和適當地增大旋片泵的抽速，能夠防止揮發性蒸汽在泵內冷凝。

為了避免毒害氣體從真空泵系統泄漏出去，要求系統的氣密性與使用自燃氣體時的一樣，即：
①決不允許空氣進入排氣管；
②必須使用可靠的密封裝置；
③油過濾系統與泵的連接接頭不要用簡單的快速接嘴。

以上是針對旋片泵在工作狀況下的注意事項，另外，在更換油過濾芯和日常拆卸維修舊泵時，也要加強防范事故意識。在更換油和油過濾器時，如果操作不當，會引起不可忽視的危險。操作應在保護罩下進行或采用其它充分的防護手段。對于維護人員來說，必須穿上防護服裝。換油過濾器是很方便的，對操作人員沒有危險，但是油過濾器與泵要用合適的閥門連接，以便能把油過濾器拿到防護罩進行維修。如果換油則能用閥門連結到供油和出汕系統中，則前級泵的換油也能在現場完成，沒有任何危險。但是排出的廢油應用吸氣泵吸到一個封閉的系統內，或直接吸到一個預先抽空的容器內。

在拆卸真空泵時，泵與系統的管道斷開之前，必須氣鎮足夠長的時間，用Ｎ2進行較長時間的沖趕，并關閉進氣閥，以免氣體進入真空機組。趕氣結束之后，才能進行換油、拆卸、清洗和修理，我們必須考慮到，泵內的許多揮發性物質在與濕氣（即環境空氣）接觸時，會放出有害氣體，在某些情況下，抽吸的物質難免要與泵體材料相接觸，結果會形成固體金屬磷化物或金屬砷化物。當泵體暴露在空氣中時，就可能釋放出ＰＨ3或ＡsＨ３，此時，更要注意防止中毒，及其它損害。所以這些工作需在有局排裝置的車間里進行，工作人員必須穿上防護工作服。

隨著半導體制造設備的日趨先進，電腦技術日趨完善，最理想、最安全的方法是對機械泵的運轉和一此的進行自動監控。例如，在一些關鍵的應用中，必須對真空泵及附屬部件實施監控。如果用手動方法對各種機器的單項功能進行逐一的檢驗，依靠維修人員對機械泵的油面進行直觀檢查，在實際上是很困難的，且不能保證長期安全可靠。

綜上所述，泵的安全操作對于設備的安全可靠運轉，以及產品質量都有重要意義我們應該嚴格遵守操作過程，注意安全，防患于未然。